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磁传感器就是把磁场、电流、应力应变、温度、光等引起敏感元件磁性能的变化转换成电信号,以这种方式来检测相应物理量的器件。其特点是可以非接触测量,检测信号几乎不受被测物的影响,耐污染、噪声强,即使在很恶劣的环境条件下也能够可*地工作,坚固耐用,寿命长。正因为如此,从国防、航空航天到国民经济各个部门,从医疗卫生到人类日常生活的诸多方面,都用到了这种传感器。
磁传感器通常都是组装在机器、设备内部来使用的。现代整机正迅速向小型轻便、多功能、智能化方向发展,要求所用传感器即使对微小空间内物理量的变化也能够高灵敏度、高速度地做出响应。即在传感器本身需要小型轻量化的同时,还迫切希望提高其工作速度、检测分辨率和灵敏度。
半导体大规模集成电路制造技术、微电子机械系统(MEMS)制造技术、微组装技术的推广应用,磁性薄膜、非晶、多层膜、纳米磁性丝等新材料和平面线圈微磁器件制造工艺及表征手段的不断进步,为磁传感器的小型化、微型化奠定了可*的基础,应用各种新效应的许多新型高性能、小型化及微型化磁传感器正不断投放市场。早期上市的AMR薄膜敏感元件和传感器,新近推出的GMI传感器、SI传感器、SV-GMR传感器,和即将实用化的薄膜磁通门磁强计、无线磁弹微型传感器阵列,就是其中的典型代表。下面,简单介绍几种微型磁传感器的工作原理、基本结构及主要技术性能。
新型磁传感器的开发和应用,已创造了*大的经济、技术和社会效益,加速了工业自动化、管理集约化、办公自动化和家庭生活现代化的实现,加快了工业化社会向信息化社会转变的步伐。在传统产业改造、资源探查及综合利用、环境保护、生物工程、交通智能化管制等各个方面,它们将发挥愈来愈重要的作用。
根据市场研究机构iSuppli的预测,磁场传感器芯片市场在2010年将感受到来自汽车、工业与消费性应用领域的强劲需求。该市场营收估计将由09年的8.21亿美元,在2013年达到14亿美元的规模;以出货量计算,则是由09年的28亿颗,在2013年达到超过50亿颗。
iSuppli分析师RichardDixon表示,磁场传感器是目前市场上*普遍的一种传感器,其应用范围涵盖工业用马达到低价消费性电子产品;光是在汽车车身应用领域,一辆车使用的磁性传感器与开关平均数量,就将从2008年的6.7颗,在2013年成长至9.4颗。而搭载GPS功能的手机也将加速三轴磁力计芯片市场的成长。
该应用再加上手机中的其他传感器与开关,将使磁力计芯片在整体磁场传感器市场中占据的比例,由08年的10%,成长至2013年的33%。包括AsahiKaseiMicrosystems、AllegroMicrosystems、Micronas、Infineon与NXP、Sensitec、austriamicrosystems,都是磁场传感器芯片的主要供货商。
Dixon指出,传感器芯片已经成为电位计、簧片开关以及微型开关等组件的压倒性竞争对手;除了没有耗损的问题,也能提高组件整合度,提供强韧又具成本、尺寸利用效益的方案。